不銹鋼真空泵不能在大氣壓下工作，所以它需要預(yù)真空。一些不銹鋼真空泵的出口壓力低于大氣壓力，因此需要前級泵，所以所有的泵都需要組合使用。如果嚴(yán)格要求無油設(shè)備，應(yīng)選用各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵和一些防油污措施，如安裝冷阱、擋板、集油器等，還能滿足潔凈真空的要求。
　　在其工作壓力下，不銹鋼真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。由于該產(chǎn)品需要選擇性泵送，有時(shí)一臺泵無法滿足泵送要求，需要幾臺泵組合起來，相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫氣有很高的抽速，但不能抽氦，而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩個(gè)泵結(jié)合起來，真空裝置將獲得更好的真空度。
　　不銹鋼真空泵應(yīng)安裝在堅(jiān)實(shí)的地面上，周圍有足夠的空間，以便于檢查和維護(hù)。基礎(chǔ)標(biāo)高應(yīng)保持在真空泵底座以下，建議在底座的四個(gè)角上安裝減震橡膠或用螺栓澆注，以確保不銹鋼真空泵的平穩(wěn)運(yùn)行和低振動。

　　與不銹鋼真空泵系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠。管道金屬墊片可用于小型真空泵，真空軟管可用于小型真空泵，管道直徑不應(yīng)小于吸入直徑，要求管道短，彎頭少。